基于磁悬浮的无轴承六轴位移台

正文

本文由骏材磁应用（AIC Engineering）转载。所有权利归原出版商所有；请参阅下方来源。

六轴磁悬浮直线、旋转及AFM位移台为键合、检测与计量应用带来了纳米级稳定性及过程中误差校正能力。

PI（Physik Instrumente）在SEMICON West 2026上推出了多款磁悬浮运动技术演示平台。这些平台将无接触定位与所有六个自由度的主动控制相结合，消除了机械轴承接触、润滑和轴承磨损。目标应用包括先进封装和混合键合、晶圆检测以及高分辨率表面计量。

具有五个辅助轴的长行程直线位移台

该直线磁悬浮位移台在主轴上提供400毫米的行程，并结合Y轴和Z轴400微米的辅助运动，以及θX/θY 1毫弧度和θZ 2毫弧度的角运动。所有六个自由度的主动控制实现了精确定位，以及超过100牛顿的力控键合。其配置支持高达6 g的加速度。

具有五个辅助轴的旋转位移台

该旋转磁悬浮平台将连续旋转与对剩余自由度（包括高度和倾斜/偏转）的主动控制相结合。这使得系统能够在晶圆检测和计量过程中主动维持定位与对准。

具有四个辅助轴的AFM XY扫描器

该磁悬浮扫描器专为原子力显微镜及其他高分辨率表面测量应用而设计，在高达50毫米的扫描范围内提供50皮米的X/Y定位分辨率。

主动六轴控制

磁悬浮纳米定位系统采用主动控制的磁场取代机械轴承，消除了摩擦、磨损、润滑以及与轴承相关的颗粒产生。主动六轴控制还允许在单一运动平台内通过电子方式校正定位和对准误差，从而减少了堆叠多个机械定位台的需求。

荣获SEMICON West 2026最佳海报展示奖

PI的磁悬浮和主动晶圆卡盘技术也在SEMICON West的Test Vision海报展示会上展出，并以“用于先进半导体制造的磁悬浮平台与主动晶圆卡盘技术”为题荣获最佳海报奖。该研究针对下一代混合键合、检测和计量应用，这些应用对洁净度、定位精度和吞吐量提出了越来越高的要求。

应用领域与服务行业

半导体制造、先进封装与混合键合、晶圆检测、高分辨率表面计量、光学与光子学。

资讯来源

• AZoRobotics (2026-11-05)
• 原文： 基于磁悬浮的无轴承六轴位移台
• https://www.azorobotics.com/News.aspx?newsID=16512