物理仪器公司（PI）在2026年SEMICON West展会上展示了多款基于磁悬浮技术的高精度运动系统。这些系统提供无机械轴承的六轴控制，直接悬浮并驱动运动平台，避免了接触、润滑和磨损，广泛适用于混合键合、先进封装、晶圆检测及表面计量等半导体制造领域。
本文由骏材磁应用（AIC Engineering）转载。所有权利归原出版商所有；请参阅下方资讯来源。
PI（Physik Instrumente）在2026年SEMICON West展会上展示了多款基于磁悬浮技术的高精度运动系统。这些系统提供无机械轴承的六轴控制。每个平台直接悬浮并驱动其运动平台，避免了轴承接触、润滑和轴承磨损。目标应用包括混合键合和先进封装、晶圆检测和表面计量。
100%无轴承：六轴零接触：PI的磁悬浮平台在混合键合和晶圆计量中展现巨大潜力
长行程直线平台：动态力控键合与检测 该直线演示平台在单个悬浮体内结合了X轴400 mm、Y轴和Z轴400 µm的行程，以及θX/θY 1 mrad和θZ 2 mrad的角运动。它在Z轴的位置稳定性低于2 nm，角度稳定性低于20 nrad。该平台支持带接触检测的恒速Z轴逼近，然后施加100 N以上的工艺力，力分辨率达mN级。其加速度可达2 g，速度达400 mm/s，其他配置最高支持6 g。
旋转晶圆平台：具备主动平面控制的无限旋转 该旋转演示平台提供无限的θZ行程和超过600 rpm的转速，并对转子中心和平面进行主动控制。在旋转过程中保持轴向位置和俯仰/偏斜，轴向误差低于5 nm，峰峰值倾斜误差低于50 nrad。其他配置支持高达25 kg的有效载荷。
AFM扫描仪：毫米级范围内的皮米分辨率 该磁悬浮AFM扫描仪结合了X/Y轴50 pm或更优的分辨率以及Z轴100 pm或更优的分辨率，X/Y行程达12.1 mm。它支持无需拼接的芯片级轮廓测量。其他配置可将X/Y行程扩展至50 mm。
为什么主动六轴控制至关重要 磁悬浮纳米定位系统采用主动控制的磁场取代机械轴承。这消除了轴承接触带来的摩擦、磨损、润滑和颗粒产生。主动六轴控制还使系统能够在单个运动平台内通过电子方式校正定位和对准误差，从而减少对多个堆叠机械平台的需求。
PI还在SEMICON West的Test Vision海报展示环节上展示了磁悬浮和主动晶圆卡盘技术，演讲题目为“用于先进半导体制造的磁悬浮平台和主动晶圆卡盘技术”。该研究针对清洁度、定位精度和吞吐量至关重要的混合键合、检测和计量应用。
服务的应用与行业 半导体制造、先进封装与混合键合、晶圆检测、高分辨率表面计量、光学与光子学。
资讯来源
- Design World (2026-11-06)
- 原文： PI在SEMICON West展示磁悬浮运动系统
- https://www.designworldonline.com/pi-shows-maglev-motion-systems-at-semicon-west/